“小さな機械” であるマイクロマシン・MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) は、スマートフォンの中に 入っている加速度センサーや、プロジェクターの中に入っている微小ミラーアレイなど、さまざまなところで用いられています。 数十nm～数百μm といった小さな世界では、重力より摩擦力の影響が大きくなったり、光の波長程度 の構造と光が相互作用するなどといったことが起こります。これらを積極的に利用し、微細な構造の 組立技術や、微細な構造を用いたセンサやアクチュエータの研究を幅広く行っています。